Micromotive Mikrotechnik -> Back-End Prozesse: Präzisionssägen, anodisches Bonden, Drahtbonden

<body> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#D3DDFF"> <tr> <td> <table width="800" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#CCCCCC">  <tr> <td width="81" height="20" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="81" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="right"><span class="Stil1"><a href="index_e.php" target="_top" style="text-decoration:none;">English</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="69" valign="top"> <table width="69" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="69" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="index.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Willkommen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="107" valign="top"> <table width="107" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="107" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Leistung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Leistungsspektrum</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="77" valign="top"> <table width="77" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="77" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kompetenzen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kompetenzen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="68" valign="top"> <table width="68" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="68" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Technologie.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Technologie</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="79" valign="top"> <table width="79" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="79" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Anwendung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Anwendungen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="50" valign="top"> <table width="50" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="50" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Produkte.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Produkte</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="42" valign="top"> <table width="42" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="42" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kontakt.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kontakt</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td height="20"> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> <table width="900" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="30" height="1035"> </td> <td width="640" valign="top"> <table width="640" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr valign="top"> <td width="640" height="92" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="40" colspan="8" valign="top" nowrap> <h1><font face="Arial, Helvetica, sans-serif" color="#999999" size="6" ><b>   Back-End Prozesse</b></font></h1></td> </tr> </table> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="2" valign="top" colspan="8"> <hr size="2" noshade> </td> </tr> </table> </td> </tr> <tr> <td height="110" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="640" height="110" valign="top" class="Stil8"><div align="justify"> Die in der Mikrotechnik als Back-End-Prozesse bezeichneten Technologien schließen sich an die Beschichtungs- und Mikrostrukturierungsverfahren an. Das heißt, sie werden in der Regel nach den Strukturierungsprozessen auf dem Substrat durchgeführt. </div></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="331" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="4" valign="top"><p class="Stil8"><strong> <strong> Präzisionssägen</strong> : </strong></p> <p class="Stil8">Beim Präzisionssägen werden mit diamantbeschichteten Sägeblättern feine Schnitte in das Substrat gebracht und damit z.B. mehrere auf einem Substrat gefertigte Mikrokomponenten vereinzelt. Andererseits können durch Präzisionssägen aber auch funktionale Komponenten hergestellt werden. So können beispielsweise größere optische Filter in kleine Elemente gesägt werden, die dann in Mikrosysteme integriert werden. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Substratdicke: wenige 10µm – 3mm </li> <li class="Stil8"> Substratgröße: bis 150mm </li> </ul> <p class="Stil8"> Materialien:</p> <p class="Stil8"> Silizium, Glas, Metalle und Kunststoff.</p></td> <td width="15" rowspan="4" valign="top"> </td> <td width="200" height="157" valign="top"><br> <img src="Grafiken/Diced%20Pol.jpg" width="200" height="133"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Gesägte Glassegmente </div></td> </tr> <tr> <td height="109" valign="top"><img src="Grafiken/diced%20nickel.jpg" width="200" height="104"></td> </tr> <tr> <td height="35" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Gesägte Nickel-Prägeform,<br> 2mm Dicke </div></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="257" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="3" valign="top"><p class="Stil8"><strong> <strong> Anodisches Bonden</strong> : </strong></p> <p class="Stil8"><span class="Stil8">Beim anodischen Bonden wird ein Siliziumsubstrat mit einem weiteren Siliziumsubstrat oder einem Glassubstrat unter Temperatur und Anwesenheit eines elektrischen Feldes miteinander verbunden. Die so entstandene Verbindung weist eine sehr hohe Festigkeit auf, ist UHV tauglich, chemisch inert und biokompatibel. Die Substrate können vor dem Bonden bereits strukturiert sein. </span></p> <ul> <li class="Stil8"> Substratdicken: bis ca. 1mm</li> <li class="Stil8">K<span class="Stil8">lebstofffreie Verbindung</span></li> </ul> </td> <td width="15" rowspan="3" valign="top"> </td> <td width="200" height="143" valign="top"><br> <img src="Grafiken/KOH%20Wafer.jpg" width="200" height="119"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Nassgeätzte Strukturen </div></td> </tr> <tr> <td height="84"> </td> </tr> </table></td> <tr> <td height="214" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="2" valign="top"><p class="Stil8"><strong> <strong> Drahtbonden</strong> : </strong></p> <p class="Stil8"> Zur elektrischen Kontaktierung von Mikrobauteilen verwenden wir das Drahtbonden. Dabei werden dünne Gold- oder Aludrähte auf der einen Seite auf geeignete metallische Kontaktflächen auf dem Mikrobauteil gebondet und auf der anderen Seite auf die Leiterbahn einer Platine oder die Kontaktfahne eines Chipgehäuses.</p></td> <td width="15" rowspan="2" valign="top"> </td> <td width="200" height="184" valign="top"><br> <img src="Grafiken/4punkt%20auf%20PCB.jpg" width="200" height="160"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Drahtbondung eines Siliziumbauteils auf eine Platine </div></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="31"> </td> </tr> </table></td> <td width="30" valign="top"><table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="30" height="1035"> </td> </tr> </table></td> <td width="200" valign="top">  </td> </tr> <tr> <td height="15"></td> <td></td> <td></td> <td></td> </tr> </table> </body>