Kompetenzen


Aufbauend auf unseren Technologien entwickeln und fertigen wir mikrotechnische Bauteile. Über unsere Basistechnologien hinaus haben wir in vielen Bereichen der MEMS-Fertigung umfangreiche Erfahrung. Diese ermöglicht uns, Ihre Zielsetzung mit geringstem finanziellen und zeitlichen Aufwand zu erreichen.
 
 
Mehrstufige Strukturen aus Silizium
Durch Kombination verschiedener Strukturierungsprozesse für Silizium, können wir komplexe Bauteile realisieren. Beidseitige Strukturierung in mehreren Ebenen ist genauso möglich wie komplette Durchstrukturierung durch das Substrat. Die besonderen Materialeigenschaften des Siliziums eröffnen ein weites Feld an Einsatzmöglichkeiten: Optik, Elektronenoptik, Mikrofluidik, präzise Positionierelemente, Prägeformen etc.