Durch Kombination verschiedener Strukturierungsprozesse für Silizium, können wir komplexe Bauteile realisieren. Beidseitige Strukturierung in mehreren Ebenen ist genauso möglich wie komplette Durchstrukturierung durch das Substrat. Die besonderen Materialeigenschaften des Siliziums eröffnen ein weites Feld an Einsatzmöglichkeiten: Optik, Elektronenoptik, Mikrofluidik, präzise Positionierelemente, Prägeformen etc. |