SU-8 als fotostrukturierbarer Kunststoff findet in einem weiten Bereich der Mikrotechnik Anwendung. Bauteile aus SU-8 lassen sich mit nahezu senkrechten Seitenwänden fertigen und erreichen dabei sehr hohe Aspektverhältnisse. In der 2D Designgestaltung sind wir bei SU-8 weitgehend frei. Komplexere Bauteile können wir durch mehrstufige Strukturierung realisieren.
Wichtige Eigenschaften des SU-8 sind seine optische Transparenz, hohe chemische Beständigkeit sowie mechanische Stabilität.
Anwendung:
Aufgrund der Formfreiheit und der optischen Transparenz lassen sich mit SU-8 sehr gut optische Elemente wie Wellenleiter, Koppler oder Verzweiger herstellen.
Die mechanischen Eigenschaften des Materials erlauben ebenfalls die Realisierung mechanischer Elemente wie Greifer, Zahnräder, Hebel, Federelemente, Siebe usw.
Ein sehr häufiger Anwendungsbereich von SU-8 ist der Aufbau von Galvanikformen für die Herstellung von metallischen Mikroteilen.
Die gute chemische Resistenz erlaubt die Realisierung von mikrofluidischen Komponenten. |
