Dickschichttechnik
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Unter Verwendung moderner
Negativresiste wie SU-8 lassen sich Mikrostrukturen in einem Bereich
von wenigen µm bis zu 1 mm Dicke mit einem Aspektverhältnis größer
10 realisieren. Die guten mechanischen Eigenschaften erlauben die
direkte Herstellung von mikrotechnischen Funktionselementen aus
diesem Resistmaterial. SU-8 kann aber auch formgebend zur Herstellung
von Galvanikstrukturen eingesetzt werden, die dann als Formeinsätze
für den Mikrospritzguss dienen können oder elektromagnetische Funktionen
erfüllen.
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Ein- und mehrstufige
Strukturen
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Aus SU-8 können beliebige Strukturen auf z.B. Siliziumwafern
als Träger hergestellt werden. Diese Strukturen können ein-
wie auch Mehrstufig sein, wobei jedoch keine überhängende
Strukturen möglich sind. Nachträglich können die Strukturen
auch vom Siliziumträger getrennt werden.
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Mehrstufige
SU-8 als Isolation zwischen Metallstrukturen
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Zwischen den SU-8 Strukturen können Metalle abgeschieden werden.
Dadurch können elektrisch leitfähige Strukturen erzeugt werden,
die durch SU-8 voneinander isoliert sind. So aufgebaute Spulensysteme
bilden die Funktionselemente in Mikroaktoren und Sensoren.
Es können aber auch metallische Bauteile wie beispielsweise
Zahnräder mit dieser Technologie hergestellt werden.
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Metallische Strukturen in SU-8 Folie
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Die guten mechanischen Eigenschaften des Materials lassen
sich zum Aufbau freitragender, folienartiger Bauelemente nutzen.
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