Elektronenoptik
Elektronenoptische Gitter, z.B. als Energiefilter, fertigen wir aus Silizium oder Metall mit Stegen mit hohem Aspektverhältnis, um eine hohe Transparenz zu erreichen. Ebenfalls aus Silizium oder Metall können wir beliebige Elektrodenstrukturen realisieren. Unsere Mikrospitzen mit wenigen Nanometern Spitzenradius lassen, sich beispielsweise als Elektronenemitter einsetzen.
Gitter als elektronenoptisches Element:
Zur Beschleunigung von freien Elektronen im Vakuum oder zum Aufbau von Energiefiltern werden in der Elektronenoptik Gitter eingesetzt. Mikrotechnisch gefertigte Elektronengitter bieten den Vorteil, dass sie mit sehr geringen Stegdurchmessern eine hohe Elektronentransmission erlauben.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Stegbreite: ca. 1µm
- Maximaler Durchmesser: ~100 mm
- Material: z.B. Silizium, Kupfer, Gold
Technologische Verfahren:
Elektrodenstrukturen:
Zur Erzeugung gezielter Potentialverteilungen in der Elektronenoptik werden Elektrodenstrukturen benötigt. Durch mikrogalvanische Abscheidung sind wir in der Lage komplexe Elektrodengeometrien zu realisieren.
Typische Eigenschaften:
- Elektrodendicken: wenige µm bis einige 100 µm
- Material: z.B. Silizium, Kupfer, Gold
Technologische Verfahren:
Elektronenemitter:
Zur Erzeugung freier Elektronen werden in der Elektronenoptik sogenannte Elektronenemitter benötigt. Unter Verwendung der von uns hergestellten Mikrospitzen mit Spitzenradien von wenigen 10 nm lassen sich Feldemitter herstellen, die bereits bei geringen Spannungen emittieren.
Typische Eigenschaften:
- Spitzenradien: wenige 10 nm
- Material: z.B. Silizium und Silizium beschichtet
Technologische Verfahren:
