Aufbauend auf unseren Technologien entwickeln und fertigen wir mikrotechnische Bauteile. Über unsere Basistechnologien hinaus haben wir in vielen Bereichen der MEMS-Fertigung umfangreiche Erfahrung. Diese ermöglicht uns, Ihre Zielsetzung mit geringstem finanziellen und zeitlichen Aufwand zu erreichen.
Durch Kombination verschiedener Strukturierungsprozesse für Silizium, können wir komplexe Bauteile realisieren. Beidseitige Strukturierung in mehreren Ebenen ist genauso möglich wie komplette Durchstrukturierung durch das Substrat. Die besonderen Materialeigenschaften des Siliziums eröffnen ein weites Feld an Einsatzmöglichkeiten: Optik, Elektronenoptik, Mikrofluidik, präzise Positionierelemente, Prägeformen etc.
Siliziumgitter können bei kleinsten Stegbreiten große Flächen überspannen. Diese Gitter lassen sich gratfrei herstellen und eignen sich daher ideal für elektronenoptische Anwendungen. Darüber hinaus lassen sich genauso auch Siebe für biologische Anwendungen fertigen.
Unsere Kompetenz im Bereich der Herstellung von Mikrospitzen erlaubt uns die Herstellung von Siliziumspitzen, sowie von Spitzen aus optisch transparenten Materialien. Die Spitzen können zusätzliche metallische oder dielektrische Ummantelungen besitzen, die im vorderen Bereich selektiv geöffnet sind.
Wir fertigen Membranen aus Kunststoff, Silizium, Si3N4 oder Metallen. Diese Membranen können große Flächen überspannen und dabei Strukturen tragen, die elektrische, optische, thermische oder fluidische Funktionen übernehmen.
SU-8 als fotostrukturierbares Epoxydharz erlaubt die Erzeugung beliebiger mikrotechnischer Kunststoffstrukturen. Diese Kunststoffstrukturen können mehrstufig aufgebaut sein.
Metallische Mikroteile eigenen sich aufgrund ihrer mechanischen Eigenschaften hervorragend zur Realisierung mechanischer Bauteile wie Zahnräder, Federn, Greifer und Kontaktstifte. Der geringe elektrische Widerstand erlaubt auch die Herstellung elektrischer Bauteile wie Mikrospulen, RF-Antennen oder Elektroden.