Metallische Mikroteile

Basierend auf fotolithographisch hergestellten Formen, die galvanisch mit Metall gefüllt werden, sind wir in der Lage präzise Mikrobauteile aus verschiedenen Metallen zu fertigen. Diese Mikrometallbauteile besitzen senkrechte Seitenwände und sind von der weiteren Designgebung frei gestaltbar. Um komplexere Bauteile zu realisieren sind wir in der Lage die Bauteile auch mehrstufig zu realisieren. Die hohen erreichbaren Aspektverhältnisse erlauben schmale metallische Stege oder schmale Schlitze im Bauteil. Die mögliche Feinheit der Strukturen und damit verbundene Komplexität auf engstem Raum übertrifft mechanische und feinwerktechnische Verfahren bei weitem. Durch die parallele Fertigung und völlige Unabhängigkeit der Fertigung von der Komplexität der Bauteile, sind wir mit diesem Verfahren auch preislich den feinwerktechnischen Verfahren überlegen.

Im Gegensatz zu anderen mikrotechnisch strukturierbaren Materialien, bieten Metalle die typischen Eigenschaften einer hohen Festigkeit bei gleichzeitig hoher Elastizität.

Mikrobauteil aus Gold
Gold-Mikroteil für ein Elektronenmikroskop
REM-Aufnahme eines Mikrobauteils aus Gold
REM Vergrößerung des oben abgebildeten Teils

Anwendungen:

Das häufigste Anwendungsgebiet von metallischen Mikroteilen sind mechanische Elemente wie Zahnräder, Greifer, Federelemente, Führungen, Siebe und viele mehr.

Ein weiteres Anwendungsgebiet ist der Bau von Formeinsätzen für Spritzguss oder Heißprägen.

Mikrozahnräder aus Nickel
Nickelzahnräder h=0,5mm

Spezifikationen:

  • Dicke: 1-500 µm
  • Aspektverhältnis: 15 für Kanäle; 10 für Stege
  • Seitenwinkel: 90+/-1°
  • Min. Strukturen: 1µm