Mikrofluidik
Mikrofluidische Strukturen wie Kanäle, Reservoirs, Mischer und Filter fertigen wir vorzugsweise aus Silizium. Kapselungen realisieren wir, z.B. aus Glas, durch anodisches Bonden von Glas mit Silizium.
Mikrofluidische Kanäle:
Basierend auf unserer Siliziumätztechnik fertigen wir mikrofluidische Kanäle, Reservoirs und Mischerstrukturen in Siliziumsubstraten. Zur Anbindung von Zuführungen ätzen wir durchgehende Bohrungen durch diese Chips. Um die fluidischen Kanäle abzudichten werden die Siliziumchips mit einem Glassubstrat anodisch verbondet. Aufgrund der Verwendung von Silizium und Glas erhält man ein fluidisches Bauteil, dass chemisch sehr inert und biokompatibel ist.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Struktur: ca. 500 nm
- Substrat: Silizium und Glas
Technologische Verfahren:
gefertigt für University of New South Wales, Australien
Mikrofluidische Filter:
Ebenfalls aus Silizium lassen sich sehr gut Filterelemente realisieren, die sich ideal für biologische Anwendungen eignen. Dabei können wir kleinste Durchgangslöcher ab etwa 500 nm Durchmesser realisieren.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Struktur: ca. 500 nm
- Substrat: Silizium
Technologische Verfahren: