Mikrooptik
Wir fertigen optische Elemente wie Blenden, Codescheiben, oder Gitter z.B. durch Strukturierung metallischer Schichten auf optisch transparenten Substraten. Für Wellenlängen bei denen Gläser keine ausreichenden Transmission mehr bieten, können wir Elemente wie Blenden oder Gitter durch freigeätzte Siliziumstrukturen realisieren. Zur weiteren Veredelung können wir sowohl auf metallische Schichten, wie auch auf Gläser antireflex Beschichtungen aufbringen.
Optische Blenden und Codescheiben für Encoder:
Durch Strukturierung einer auf einem Glassubstrat aufgebrachten Metallisierung können wir Transmissionsblenden oder Codescheiben für Encoder mit beliebigen Designs anfertigen.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Struktur: ca. 500 nm
- Substrat: z.B. Glas ~ 200 µm – einige mm Dicke
- Blendenmaterial: z.B. Chrom oder andere Metalle
Technologische Verfahren:
Optische Gitter:
Ebenso wie optische Blenden können wir durch Strukturierung einer Metallisierung auf einem Glassubstrat optische Transmissionsgitter herstellen. Im Gegensatz dazu fertigen wir Reflexionsgitter durch Einätzen der Gitterstruktur in z.B. ein Siliziumsubstrat. Zur Steigerung der Reflektivität können diese Strukturen zusätzlich metallisiert werden.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Struktur: ca. 500 nm
- Substrat: z.B. Glas für Transmissionsgitter oder beschichtetes Silizium für Reflexionsgitter
- Gittermaterial: z.B. Chrom oder andere Metalle
Technologische Verfahren:
Antireflexbeschichtung:
Durch geeignete Beschichtung können wir auf metallische oder transparente Oberflächen eine Antireflexbeschichtung aufbringen, die auf eine Wellenlänge optimiert ist. Dadurch lassen sich störende Rückreflexionen von optischen Elementen reduzieren.
Typische Eigenschaften:
- Optimiert auf diskrete Wellenlängen
- Restreflexion bei Metallen: <10%
- Restreflexion bei Gläsern: <2%
Technologische Verfahren:
optimiert auf 550 nm Wellenlänge
Reflektivität < 2%
optimiert auf 550 nm Wellenlänge
Reflektivität < 1%
Deep UV Optik:
Im Lichtwellenlängenbereich kleiner 300 nm nimmt die optische Transmission einiger Gläser deutlich ab. Eine Möglichkeit hierfür optische Elemente wie z.B. Blenden herzustellen sind freitragende Strukturen, die an dünnen Haltestegen angebunden sind. Solche Elemente können wir mit unseren Ätzverfahren aus Silizium oder mit galvanischen Verfahren aus Metallen realisieren.
Typische Eigenschaften:
- Überspannbare Fläche: ca. 100 mm
- Kleinste Haltestege: ca. 1µm
- Material: Silizium oder Metalle
Technologische Verfahren: