Nanoanalytik
Cantileversensoren mit Dicken ab wenigen 100 nm fertigen wir aus Silizium, Siliziumnitrid oder Siliziumdioxid. Wir realisieren Einzelcantilever und Cantileverarrays. Darauf können wir einfache oder optisch transparente Mikrospitzen oder auch Heizelemente integrieren.
Cantileversensoren:
Unsere Erfahrung in der Herstellung von Cantileversensoren ermöglicht uns gezielt kundenspezifische Wünsche zu realisieren. So können wir Cantilever in beliebigen Geometrien aus Silizium, Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid fertigen. Dabei sind Cantileverdicken bereits ab 500 nm möglich. Aus Silizium lassen sich auch heizbare Cantilever herstellen.
Typische Eigenschaften:
- Cantileverdicke: ca. 500 nm – einige µm
- Material: Silizium, Siliziumnitrid, Siliziumdioxid
Technologische Verfahren:
Rasterkraftsensoren (AFM):
Basierend auf unserer Kompetenz in der Herstellung von Mikrospitzen in Kombination mit unserer Technologie zur Realisierung von Cantileversensoren sind wir in der Lage kundenspezifische Rasterkraftsensoren zu fertigen. So können wir kundenspezifische Einzelsensoren oder AFM-arrays herstellen. Die Sensoren können aus Materialien wie Silizium oder Siliziumnitrid bestehen, können aber auch elektrisch leitfähig sein und eine Drahtbondung auf ein PCB besitzen.
Typische Eigenschaften:
- Spitzenhöhen: einige µm
- Material: Silizium, Siliziumnitrid, auch mit Metallisierung
Technologische Verfahren:
mit elektrischer Kontaktierung
Nahfeldoptische Sensoren (SNOM):
Neben den mechanischen Kraftsensoren sind wir auch in der Lage nahfeldoptische Sensoren herzustellen. Diese bestehen aus einem optisch transparenten Kern, der mit einer optisch dichten Metallisierung ummantelt ist. Lediglich die vorderste Spitze ist nicht metallisiert, so dass Licht an der zu untersuchenden Probe austreten kann.
Typische Eigenschaften:
- Aperturdurchmesser: ca. 100 nm
- Optische Ankopplung: über Glasfaser
Technologische Verfahren:
