Röntgenoptik
Röntgenoptische Blenden und Gitter fertigen wir, z.B. aus Gold, entweder freitragend oder auf einer röntgentransparenten Membran. Streuabsorber fertigen wir, z.B. aus Gold oder beschichtetem Silizium, mit Stegen mit hohem Aspektverhältnis um eine hohe Streuabsorption bei gleichzeitig hoher Transmission zu erreichen.
Blenden:
Blenden für röntgenoptische Anwendungen bestehen aus einem röntgenlichtabsorbierenden Material, das entweder freitragend aufgebaut ist oder auf einer röntgentransparenten Membran aufgebracht ist. Wir realisieren Röntgenblenden beispielsweise aus galvanisch abgeschiedenen Goldstrukturen.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Struktur: ca. 1 µm
- Substrat: Freitragend oder auf einer Membran aus Siliziumnitrid oder Polymer
- Material: z.B. Gold
Technologische Verfahren:
Gitter:
Ebenfalls durch mikrogalvanische Abscheidung von Gold lassen sich Absorptionsgitter für Röntgenstrahlung herstellen. Darüber hinaus können wir durch Tiefenätzen von Silizium Phasenkontrastgitter realisieren. Diese Gitter können entweder freitragend oder auf einer Membran aufgebracht sein.
Typische Eigenschaften:
- Kleinste Struktur: ca. 1 µm
- Substrat: Freitragend oder auf einer Membran aus Siliziumnitrid oder Polymer
- Material: Gold oder Silizium
Technologische Verfahren:
Streuabsorber :
Zur Verbesserung der Abbildungsqualität von Projektionsröntgenverfahren werden Streulichtabsorber eingesetzt, die die am zu untersuchenden Objekt gestreuten Röntgenphotonen vor dem Auftreffen auf den Röntgenfilm absorbieren sollen. Solche Streuabsorber bestehen beispielsweise aus einem Kreuzgitter mit hohem Aspektverhältnis sowie einem röntgenabsorbierenden Material. Realisiert werden kann dies durch mikrogalvanische Abscheidung oder geätzte Siliziumgitter, die mit einem Absorbermaterial beschichtet werden.
Typische Eigenschaften:
- Aspektverhältnis: > 10
- Material: Gold oder Silizium mit Beschichtung
Technologische Verfahren:
