Micromotive Mikrotechnik -> Beschichtung: Aufdampfen, Sputtern, PECVD, thermische Oxidation, LPCVD, Mikrogalvanik, Ionenimplantation

<body> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#D3DDFF"> <tr> <td> <table width="800" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#CCCCCC">  <tr> <td width="81" height="20" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="81" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="right"><span class="Stil1"><a href="index_e.php" target="_top" style="text-decoration:none;">English</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="69" valign="top"> <table width="69" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="69" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="index.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Willkommen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="107" valign="top"> <table width="107" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="107" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Leistung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Leistungsspektrum</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="77" valign="top"> <table width="77" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="77" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kompetenzen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kompetenzen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="68" valign="top"> <table width="68" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="68" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Technologie.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Technologie</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="79" valign="top"> <table width="79" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="79" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Anwendung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Anwendungen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="50" valign="top"> <table width="50" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="50" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Produkte.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Produkte</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="42" valign="top"> <table width="42" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="42" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kontakt.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kontakt</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td height="20"> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> <table width="900" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="30" height="1840"> </td> <td width="640" rowspan="2" valign="top"> <table width="640" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr valign="top"> <td height="92" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="40" colspan="8" valign="top" nowrap> <h1><font face="Arial, Helvetica, sans-serif" color="#999999" size="6" ><b>   Beschichtung</b></font></h1></td> </tr> </table> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="2" valign="top" colspan="8"> <hr size="2" noshade> </td> </tr> </table> </td> </tr> <tr> <td height="100" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="640" height="100" valign="top" class="Stil8">Zur Erzeugung von funktionalen Schichten wie Elektroden und Leiterbahnen, optischen Reflektoren und Wellenleitern, Membranmaterialien sowie Maskierungsschichten stehen uns verschiedene Verfahren zur Verfügung. Diese Schichten können wir neben unseren Wafersubstraten auch auf verschieden andere Substrate abscheiden. Häufig werden neben Silizium auch Glas oder Kunststoffe beschichtet.</td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="300" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="3" valign="top"><p class="Stil8"><strong>Aufdampfen: </strong></p> <p class="Stil8"> Beim thermischen Aufdampfen werden die gewünschten Materialien entweder durch Widerstands- oder Elektronenstrahlheizung im Vakuum soweit erhitzt, bis sie verdampfen oder sublimieren. Das Material bewegt sich dann geradlinig bis zum Substrat, wo es kondensiert und so die Schicht bildet. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8">Schichtdicke: einige nm – einigen 100 nm </li> <li class="Stil8"> Geringe Bedeckung senkrechter Strukturkanten > ermöglicht <a href="Fotolithografie.php" target="_top">Lift-off</a> </li> </ul> <p class="Stil8"> Materialien: </p> <p class="Stil8"> Viele Metalle wie z.B. Ag, Al, Au, Cu, Cr, Fe, Pd, Pt, Ni ... und Oxide davon.</p></td> <td width="15" rowspan="3" valign="top"> </td> <td width="200" height="158" valign="top"><br> <img src="Grafiken/Aufdampfanlage%20200.jpg" width="200" height="133"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Aufdampfanlage</div></td> </tr> <tr> <td height="121"> </td> </tr> </table> </td> </tr> <tr> <td height="300" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="3" valign="top"><p class="Stil8"><strong>Sputtern: </strong></p> <p class="Stil8"> Beim Sputtern wird ein inertes Edelgas ionisiert und auf das Target mit dem zu beschichtende Material beschleunigt. Dort werden Atome und Moleküle des Materials herausgeschlagen, die sich dann auf dem Substrat ablagern und zur Schichtbildung führen. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Schichtdicke: einigen nm – ca. 1µm </li> <li class="Stil8"> Gute Bedeckung strukturierter Kanten </li> </ul> <p class="Stil8"> Materialien: </p> <p class="Stil8"> Viele Metalle wie z.B. Ag, Al, Au, Cu, Cr, Pd, Pt, Ni, V, W ... aber auch Legierungen und Verbindungen wie z.B. AlNd, AlSi, ITO, WSi2 ...</p> </td> <td width="15" rowspan="3" valign="top"> </td> <td width="200" height="174" valign="top"><br> <img src="Grafiken/Cr%20sputtern.jpg" width="200" height="150"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Cr besputterte Siliziumstruktur mit isotrop negativem Profil </div></td> </tr> <tr> <td height="96"> </td> </tr> </table> </td> </tr> <tr> <td height="265" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="3" valign="top"><p class="Stil8"><strong>PECVD: </strong></p> <p class="Stil8"> Bei der plasmaunterstützten chemischen Schichtabscheidung werden die Reaktionsgase durch das Plasma aufgespaltet und verbinden sich als Schicht auf dem Substrat. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Schichtdicke: einige 10 nm – einige µm </li> <li class="Stil8"> Gute Kantenbedeckung </li> </ul> <p class="Stil8"> Materialien: </p> <p class="Stil8"> Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Siliziumcarbid</p></td> <td width="15" rowspan="3" valign="top"> </td> <td width="200" height="159" valign="top"><br> <img src="Grafiken/Plasma.jpg" width="200" height="135"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Plasmabeschichtung</div></td> </tr> <tr> <td height="87"> </td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="227" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" height="227" valign="top"><p class="Stil8"><strong>Thermische- / Nassoxidation: </strong></p> <p class="Stil8"> Hierbei werden Siliziumsubstrate direkt oxidiert, das heißt, Sauerstoff diffundiert in das Silizium und verbindet sich dort mit den Silizium zu Siliziumdioxid. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Schichtdicke: wenige nm – wenige µm </li> <li class="Stil8"> Sehr gute Kantenbedeckung, selbst zerklüftete Oberflächen und Überhänge werden oxidiert </li> <li class="Stil8"> Sehr gute Schichtdickenhomogenität</li> </ul></td> <td width="15" valign="top"> </td> <td width="200" valign="top"> </td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="272" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="3" valign="top"><p class="Stil8"><strong>LPCVD: </strong></p> <p class="Stil8"> Hier reagieren an der heißen Substratoberfläche die Reaktionsgase miteinander und führen zur Schichtabscheidung. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Schichtdicke: einige 10 nm – einige µm </li> <li class="Stil8"> Gute Kantenbedeckung </li> <li class="Stil8"> Abscheidung stoichiometrischer Schichten </li> </ul> <p class="Stil8"> Schichten: </p> <p class="Stil8"> Si3N4, Stressoptimiertes Siliziumnitrid, Polysilizium</p></td> <td width="15" rowspan="3" valign="top"> </td> <td width="200" height="174" valign="top"><br> <img src="Grafiken/Poly-Si3N4.jpg" width="200" height="150"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">250 nm Polysilizium auf 2 µm Si3N4 </div></td> </tr> <tr> <td height="87"> </td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="326" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="4" valign="top"><p class="Stil8"><strong>Mikrogalvanik: </strong></p> <p class="Stil8">Durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen einer metallischen Anode und dem Substrat werden die im Elektrolyten gelösten Metallionen auf dem Substrat abgeschieden.</p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Schichtdicke: einige µm – einige 100µm </li> </ul> <p class="Stil8"> Materialien: </p> <p class="Stil8"> Au, Cu, Ni</p></td> <td width="15" rowspan="4" valign="top"> </td> <td width="200" height="133" valign="top"><img src="Grafiken/Goldgalvanik%201.jpg" width="200" height="133"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Galvanische Goldstrukturen </div></td> </tr> <tr> <td height="133" valign="top"><img src="Grafiken/Goldgalvanik%202.jpg" width="200" height="133"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">Gitterstruktur aus Gold 10 µm hoch </div></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="212" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="425" rowspan="3" valign="top"><p class="Stil8"><strong>Ionenimplantation: </strong></p> <p class="Stil8"> Bei der Ionenimplantation werden die Dotieratome ionisiert und mit hoher Energie in das Siliziumsubstrat implantiert. </p> <p class="Stil8"> Typische Eigenschaften: </p> <ul> <li class="Stil8"> Erzeugung n- oder p- leitender Bereiche in Silizium </li> <li class="Stil8"> Einstellung des spez. Widerstandes von Silizium zwischen 0,01 Ohmcm und 10 Ohmcm </li> <li class="Stil8"> Dotiertiefe nach Ausheilung bis ca. 5µm</li> </ul></td> <td width="15" rowspan="3" valign="top"> </td> <td width="200" height="143" valign="top"><br><img src="Grafiken/Dotierungskonzentration.jpg" width="200" height="143"></td> </tr> <tr> <td height="30" valign="top" class="Stil8"><div align="center">spez. Widerstand von Silizium </div></td> </tr> <tr> <td height="39"></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td width="640" height="20"> </td> </tr> </table></td> <td width="30" rowspan="2" valign="top"><table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="30" height="2070"> </td> </tr> </table></td> <td width="200" valign="top">  </td> </tr> <tr> <td height="230"></td> <td></td> </tr> <tr> <td height="20"></td> <td> </td> <td> </td> <td></td> </tr> </table> </body>