Micromotive Mikrotechnik -> Siliziumteile, Siliziumgitter, Mikrospitzen, Membranen, SU-8, metallische Bauteile, Nanostrukturen, Mikromontage

<body> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#D3DDFF"> <tr> <td> <table width="800" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#CCCCCC">  <tr> <td width="81" height="20" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="81" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="right"><span class="Stil1"><a href="index_e.php" target="_top" style="text-decoration:none;">English</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="69" valign="top"> <table width="69" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="69" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="index.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Willkommen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="107" valign="top"> <table width="107" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="107" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Leistung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Leistungsspektrum</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="77" valign="top"> <table width="77" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="77" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kompetenzen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kompetenzen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="68" valign="top"> <table width="68" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="68" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Technologie.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Technologie</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="79" valign="top"> <table width="79" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="79" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Anwendung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Anwendungen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="50" valign="top"> <table width="50" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="50" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Produkte.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Produkte</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="42" valign="top"> <table width="42" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="42" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kontakt.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kontakt</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td height="20"> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> <table width="900" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="30" height="624"> </td> <td width="640" rowspan="2" valign="top"> <table width="640" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr valign="top"> <td height="70" colspan="3" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="45" colspan="8" valign="top" nowrap> <h1><font face="Arial, Helvetica, sans-serif" color="#999999" size="6" ><b>   </b>Kompetenzen</font></h1></td> </tr> </table> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="2" valign="top" colspan="8"> <hr size="2" noshade> </td> </tr> </table> </td> </tr> <tr> <td height="80" colspan="3" valign="top"> <div align=justify class="Stil8"> Aufbauend auf unseren Technologien entwickeln und fertigen wir mikrotechnische Bauteile. Über unsere Basistechnologien hinaus haben wir in vielen Bereichen der MEMS-Fertigung umfangreiche Erfahrung. Diese ermöglicht uns, Ihre Zielsetzung mit geringstem finanziellen und zeitlichen Aufwand zu erreichen.</div> </td> </tr> <tr> <td width="310" height="932" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="310" height="60" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Silizium MEMS.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Strukturen aus Silizium</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Freiformstrukturen mit Stufen, sowie durchgängige Strukturen</span></a></div> </td> </tr> <tr> <td height="60" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Siliziumgitter.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Freitragende Siliziumstege</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Sehr feine Siliziumstege über große, offenen Flächen</span></a></div> </td> </tr> <tr> <td height="45" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Mikrospitzen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Mikrospitzen</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Spitzen mit Radien im Nanometerbereich</span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="45" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Membranen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Membranen</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Sehr dünne Membranen aufgespannt auf einem Rahmen</span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="45" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="SU-8.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Strukturen aus Kunststoff</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Mehrstufige Freiformstrukturen aus SU-8 </span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="60" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Metallische Mikroteile.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Metallische Bauteile</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Mehrstufige Freiformbauteile aus Metall </span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="60" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Planare Strukturen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Planare Strukturen</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Eingebettete Strukturen ohne Topographie</span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="66" valign="top"><div> <a href="Mikromontage.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Mikromontage</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Präzises fügen mikrotechnischer Bauteile </span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="421"> </td> </tr> </table></td> <td width="20" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="20" height="932"> </td> </tr> </table></td> <td width="310" rowspan="2" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" style="border-width:1px; border-style:solid; border-color:#CCCCCC; padding:0.5em">  <tr> <td width="308" height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Silizium MEMS.jpg" width="300" height="200"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Mehrstufige Strukturen aus Silizium</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Durch Kombination verschiedener Strukturierungsprozesse für Silizium, können wir komplexe Bauteile realisieren. Beidseitige Strukturierung in mehreren Ebenen ist genauso möglich wie komplette Durchstrukturierung durch das Substrat. Die besonderen Materialeigenschaften des Siliziums eröffnen ein weites Feld an Einsatzmöglichkeiten: Optik, Elektronenoptik, Mikrofluidik, präzise Positionierelemente, Prägeformen etc.<a>   </a><a href="Silizium MEMS.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Siliziumgitter.jpg" width="300" height="202"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Freitragende Stege aus Silizium</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Siliziumgitter können bei kleinsten Stegbreiten große Flächen überspannen. Diese Gitter lassen sich gratfrei herstellen und eignen sich daher ideal für elektronenoptische Anwendungen. Darüber hinaus lassen sich genauso auch Siebe für biologische Anwendungen fertigen.<a>   </a><a href="Siliziumgitter.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Mikrospitze.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Mikrospitzen</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Unsere Kompetenz im Bereich der Herstellung von Mikrospitzen erlaubt uns die Herstellung von Siliziumspitzen, sowie von Spitzen aus optisch transparenten Materialien. Die Spitzen können zusätzliche metallische oder dielektrische Ummantelungen besitzen, die im vorderen Bereich selektiv geöffnet sind.<a>   </a><a href="Mikrospitzen.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Roentgenblende.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Membranen</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Wir fertigen Membranen aus Kunststoff, Silizium, Si3N4 oder Metallen. Diese Membranen können große Flächen überspannen und dabei Strukturen tragen, die elektrische, optische, thermische oder fluidische Funktionen übernehmen.<a>   </a><a href="Membranen.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/SU-8 MEMS.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Strukturen aus Kunststoff</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >SU-8 als fotostrukturierbares Epoxydharz erlaubt die Erzeugung beliebiger mikrotechnischer Kunststoffstrukturen. Diese Kunststoffstrukturen können mehrstufig aufgebaut sein.<a>   </a><a href="SU-8.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Zahnrad.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Metallische Bauteile</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Metallische Mikroteile eigenen sich aufgrund ihrer mechanischen Eigenschaften hervorragend zur Realisierung mechanischer Bauteile wie Zahnräder, Federn, Greifer und Kontaktstifte. Der geringe elektrische Widerstand erlaubt auch die Herstellung elektrischer Bauteile wie Mikrospulen, RF-Antennen oder Elektroden.<a>   </a><a href="Metallische Mikroteile.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/SNOM Sample.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Planare Strukturen</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Bei planaren Strukturen ist ein Material so in ein zweites eingelassen, dass sich an der Oberfläche ein Materialkontrast befindet, der jedoch keine Topografie besitzt.<a>   </a><a href="Planare Strukturen.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/NanoLitho.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Nanostrukturen</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Nanostrukturen<a>   </a><a href="Nanotechnik.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Mikromontage.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Mikromontage</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Zur Realisierung komplexerer Mikrosysteme können wir mittels unserer Montagetechnik, einzelne Mikrokomponenten mit Genauigkeiten von wenigen µm Fügen. Zur Montage kleinster Strukturen verwenden wir spezielle Greifer. Dabei ist Sauberkeit ein wichtiges Kriterium, um beispielsweise auch optische Systeme aufzubauen.<a>   </a><a href="Mikromontage.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="1339"></td> <td> </td> </tr> </table></td> <td width="30"> </td> <td width="200">  </td> </tr> <tr> <td height="1798"></td> <td></td> <td></td> </tr> </table> </body>