Sehen Sie hier verschiedene Anwendungen aus den Bereichen Mikrooptik, Elektronenoptik, Röntgenoptik, Mikrofluidik, Mikromechanik und Nanoanalytik. Wir fertigen nach Ihren Spezifikationen passend für Ihre Anwendung.
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Mikrooptik
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Wir fertigen optische Elemente wie Blenden, Codescheiben, oder Gitter z.B. durch Strukturierung metallischer Schichten auf optisch transparenten Substraten. Für Wellenlängen bei denen Gläser keine ausreichenden Transmission mehr bieten, können wir Elemente wie Blenden oder Gitter durch freigeätzte Siliziumstrukturen realisieren. [mehr] |
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Elektronenoptik
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Elektronenoptische Gitter, z.B. als Energiefilter, fertigen wir aus Silizium oder Metall mit Stegen mit hohem Aspektverhältnis, um eine hohe Transparenz zu erreichen. Ebenfalls aus Silizium oder Metall können wir beliebige Elektrodenstrukturen realisieren. Unsere Mikrospitzen mit wenigen Nanometern Spitzenradius, lassen sich beispielsweise als Elektronenemitter einsetzen. [mehr] |
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Röntgenoptik
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Röntgenoptische Blenden und Gitter fertigen wir, z.B. aus Gold, entweder freitragend oder auf einer röntgentransparenten Membran. Streuabsorber fertigen wir, z.B. aus Gold oder beschichtetem Silizium, mit Stegen mit hohem Aspektverhältnis um eine hohe Streuabsorption bei gleichzeitig hoher Transmission zu erreichen. [mehr] |
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Mikrofluidik
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Mikrofluidische Strukturen wie Kanäle, Reservoirs, Mischer und Filter fertigen wir vorzugsweise aus Silizium. Kapselungen realisieren wir, z.B. aus Glas, durch anodisches Bonden von Glas mit Silizium. [mehr] |
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Mikromechanik
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Mikromechanische Elemente wie Zahnräder, Greifer oder Federn fertigen wir vorzugsweise aus galvanisch abgeschiedenen Metallen wie z.B. Nickel. Positionierelemente können wir ebenfalls aus Metall, aber auch aus Silizium oder Kunststoff realisieren. [mehr] |
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Nanoanalytik
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Cantileversensoren mit Dicken ab wenigen 100 nm fertigen wir aus Silizium, Siliziumnitrid oder Siliziumdioxid. Wir realisieren Einzelcantilever und Cantileverarrays. Darauf können wir einfache oder optisch transparente Mikrospitzen oder auch Heizelemente integrieren. [mehr] |
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