Mikrofluidische Kanäle:
Basierend auf unserer Siliziumätztechnik fertigen wir mikrofluidische Kanäle, Reservoirs und Mischerstrukturen in Siliziumsubstraten. Zur Anbindung von Zuführungen ätzen wir durchgehende Bohrungen durch diese Chips. Um die fluidischen Kanäle abzudichten werden die Siliziumchips mit einem Glassubstrat anodisch verbondet. Aufgrund der Verwendung von Silizium und Glas erhält man ein fluidisches Bauteil, dass chemisch sehr inert und
biokompatibel
ist.
Typische Eigenschaften
- Kleinste Struktur: ca. 500 nm
- Substrat: Silizium und Glas
Technologie und Kompetenzen
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