Micromotive Mikrotechnik -> Beschichtung, Dünnschichttechnik, Mikrostrukturierung, Fotolithographie, Mikroanalytik

<body> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#D3DDFF"> <tr> <td> <table width="800" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" bgcolor="#CCCCCC">  <tr> <td width="81" height="20" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="81" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="right"><span class="Stil1"><a href="index_e.php" target="_top" style="text-decoration:none;">English</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="69" valign="top"> <table width="69" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="69" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="index.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Willkommen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="107" valign="top"> <table width="107" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="107" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Leistung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Leistungsspektrum</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="77" valign="top"> <table width="77" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="77" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kompetenzen.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kompetenzen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="68" valign="top"> <table width="68" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="68" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Technologie.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Technologie</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="79" valign="top"> <table width="79" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="79" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Anwendung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Anwendungen</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="50" valign="top"> <table width="50" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="50" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Produkte.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Produkte</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td width="7" valign="top"> <table width="7" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> <td width="1" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><img src="Grafiken/vertstrich.gif" width="1" height="10"></div></td> <td width="3" height="20" bgcolor="#CCCCCC"> </td> </tr> </table> </td> <td width="42" valign="top"> <table width="42" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="42" height="20" bgcolor="#CCCCCC"><div align="center"><span class="Stil2"><a href="Kontakt.php" target="_top" style="text-decoration:none;">Kontakt</a></span></div></td> </tr> </table> </td> <td valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td height="20"> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> </td> </tr> </table> <table width="900" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="30" height="624"> </td> <td width="640" rowspan="2" valign="top"> <table width="640" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr valign="top"> <td height="70" colspan="3" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="45" colspan="8" valign="top" nowrap> <h1><font face="Arial, Helvetica, sans-serif" color="#999999" size="6" ><b>   </b>Technologie</font></h1></td> </tr> </table> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0"> <tr valign="top"> <td height="2" valign="top" colspan="8"> <hr size="2" noshade> </td> </tr> </table> </td> </tr> <tr> <td height="80" colspan="3" valign="top"> <div align=justify class="Stil8"> <font size=2>Zur Realisierung Ihrer Ideen und Wünsche können wir ein sehr breites Spektrum mikrosystemtechnischer Prozesse und Technologien einsetzen. Um Ihnen alles aus einer Hand anbieten zu können, arbeiten wir über die hier gezeigten Technologien hinaus mit ausgewählten Partnern zusammen.</font></div> </td> </tr> <tr> <td width="310" height="932" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="310" height="60" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Beschichtung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Beschichtung</span><br> <span class="Stil10">Aufdampfen, Sputtern, Oxidieren, Mikrogalvanik</span></a><span class="Stil10">, Ionenimplantation etc</span>.<a href="Silizium MEMS.php" target="_top" style="text-decoration:none;"></a></div> </td> </tr> <tr> <td height="60" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Mikrostrukturierung.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Mikrostrukturierung</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Ätzen von Metallen, Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid etc.</span></a></div> </td> </tr> <tr> <td height="45" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Fotolithografie.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Fotolithografie</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Positiv- und Negativlithographie, Lift-Off Lithographie</span></a> etc. </div></td> </tr> <tr> <td height="45" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Back-End Prozesse.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Back-End Prozesse</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">Präzisionssägen und Bonden </span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="45" valign="top" class="Stil8"> <div> <a href="Mikroanalytik.php" target="_top" style="text-decoration:none;">> <span style="text-decoration:underline;">Mikroanalytik</span><br> <span style="color:#000000;" class="Stil10">REM, EDX, AFM, Ellipsometrie, Profilometrie </span></a></div></td> </tr> <tr> <td height="667"> </td> </tr> </table></td> <td width="20" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0">  <tr> <td width="20" height="932"> </td> </tr> </table></td> <td width="310" rowspan="2" valign="top"> <table width="100%" border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" style="border-width:1px; border-style:solid; border-color:#CCCCCC; padding:0.5em">  <tr> <td width="308" height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Beschichtung.jpg" width="300" height="200"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Beschichtung</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Zur Erzeugung funktionaler oder maskierender Schichten stehen uns eine Reihe von Verfahren und Materialien zur Verfügung. So können wir sehr viele Metalle, Oxide und andere Materialien beschichten. Die Schichtdicken beginnen bei einigen Nanometern und können bis einige 100 Mikrometer reichen. Dabei können wir viele unterschiedliche Substrate wie z.B. Glas, Silizium, Kunststoffe oder andere beschichten.<a>   </a><a href="Beschichtung.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Strukturierung.jpg" width="300" height="202"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Mikrostrukturierung</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Zur Erzeugung funktionaler Elemente stehen uns eine Reihe von Strukturierungsverfahren wie Nass- und Trockenätzprozesse zur Verfügung. Damit können wir metallische Schichten, Silizium und Siliziumdioxid strukturieren. Die Schichtdicken können zwischen wenigen Nanometern und einigen Mikrometern liegen. Darüber hinaus können wir Siliziumsubstrate komplett durchätzen.<a>   </a><a href="Mikrostrukturierung.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Lithografie.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Fotolithografie</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Die Basis jeder Mikrostrukturierung ist die Fotolithografie, sie legt die Form fest, mit der die nachfolgenden Strukturierungen erfolgen. Abhängig vom nachfolgenden Verfahren können wir verschieden Fotolithografieverfahren anwenden. So können wir Dünnlackverfahren für minimale Strukturen von 400 nm, Lift-Off Verfahren für nicht ätzbare Materialen oder Dicklacke für galvanische Abscheidung einsetzen.<a>   </a><a href="Fotolithografie.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/diced pcb.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Back-End Prozesse</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Im Anschluss an die Mikrostrukturierung können wir die Mikrokomponenten durch Präzisionssägen vereinzeln, durch anodisches Bonden kapseln oder durch Drahtbonden elektrisch kontaktieren.<a>   </a><a href="Back-End Prozesse.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> <tr> <td height="210" valign="top"> <div id="imi"><img src="Grafiken/Analytik.jpg" width="300"></div> </td> </tr> <tr> <td height="20" valign="top"> <strong id="txt1" class="Stil8">Mikroanalytik</strong> </td> </tr> <tr> <td height="114" valign="top"> <div id="txt2" class="Stil10" >Zur Untersuchung der von uns gefertigten Mikrostrukturen und Schichten stehen uns eine Reihe analytischer Verfahren wie z.B. Elektronenmikroskopie, Rastersondenmikroskopie, Ellipsometrie und andere zur Verfügung.<a>   </a><a href="Mikroanalytik.php" target="_top" id="mhr">[mehr]</a></div></td> </tr> </table></td> </tr> <tr> <td height="1339"></td> <td> </td> </tr> </table></td> <td width="30"> </td> <td width="200">  </td> </tr> <tr> <td height="1798"></td> <td></td> <td></td> </tr> </table> </body>